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高精度抛光系统各组成部件功能特性深度剖析
20263-5
高精度抛光系统各组成部件功能特性深度剖析

高精度抛光系统是半导体晶圆、光学镜片、蓝宝石衬底、硬盘基板及精密模具制造中实现纳米级表面粗糙度与亚微米面形精度的关键装备，广泛应用于集成电路、激光器、航空航天及消费电子领域。高精度抛光系统性能源于多模块的精密协同，每一部件均体现“超稳运动、智能控制、洁净环境、柔性工艺”的制造理念。一、主轴与抛光头系统空气静压电主轴：转速0–3000rpm无级可调，径向跳动≤0.1μm，无机械摩擦，避免振动；多自由...

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  • 化学抛光设备能够处理怎样的表面
    化学抛光设备能够处理表面强化处理、降低金属零件表面粗糙度、光亮抛光、镜面抛光等难题，锁使用的电机转速就比较低，摩擦产生热有可能烧毁物件。所使用的抛光辅料偏软、偏细等等。又能换上抛光盘做车漆护埋。化学抛光设备较重，为2-3kg，但工作起来非常...

    2016-12-22

  • 金刚石，工程师的朋友
    金刚石是一种纯碳物质，也是钻石的原石。近年来，随着开发技术难题的攻克，具有晶莹质感的钻石不仅仅是女孩们的zui爱，也成为工程师的朋友。由于金刚石的性能，金刚石纳米薄膜已经在MEMS、表面声波（SAW）器件、热量管理及摩擦涂层等方面得到广泛应...

    2016-10-28

  • 气体分析质谱仪的用途有哪些？
    气体分析质谱仪多用于生产研究之中来监测气体和进行过程分析，气体分析质谱仪应用的领域十分广泛：如真空科学工业中加速器、高真空、超高真空系统和器件中的气体分析，航天航空工业中燃料箱、发动机、密封仓安全检漏、多种气体分析；电子工业中真空镀膜、微波...

    2016-08-29

  • 晶体Si片切割表面损伤及其对电学性能的影响
    摘要：对比观察了不同工艺条件下金刚石线锯和砂浆线锯切割晶体Si片的表面微观形貌；分析了其切割机理及去除模式；对比分析了三种不同化学方法钝化Si片的效果和稳定性；采用逐层腐蚀去除Si片的损伤层，使用碘酒对其进行化学钝化，然后测试其少子寿命，分...

    2016-08-09

  • 关于研磨与抛光的微观机理解析
    研磨指通过研磨的方法，除去切片和轮磨所造成的硅片表面锯痕及表面的损伤层，有效改善单晶硅片的翘曲度、平坦度与平行度，达到一个抛光过程可以处理的规格。硅片研磨质量直接影响到抛光质量及抛光工序的整体效率，甚至影响到IC的性能。硅片研磨加工模型如图...

    2016-05-05

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