24小时销售热线

13801287720

技术文章

我的位置：首页  >  技术文章

P产品分类RODUCT CATEGORY

干货分享：如何科学地对CMP抛光机进行定期维护保养
20267-9
干货分享：如何科学地对CMP抛光机进行定期维护保养

在半导体晶圆加工工艺中，精密抛光设备用于晶圆全局平坦化处理，是芯片制程核心设备之一。CMP抛光机依靠耗材与精密结构协同完成抛光作业，日常养护直接影响加工品质。落实规范化养护流程，可有效保障CMP抛光机的运行稳定性，延长设备与耗材使用周期。1、抛光平台清洁养护抛光平台长期作业易残留抛光液颗粒与晶圆碎屑，堆积后会影响盘面平整度。每次加工结束后使用专用清洁液擦拭盘面，冲洗残留浆料，保持盘面洁净平整，避免...

查看更多
  • DEMO大连实验室正式成立
    DEMO大连实验室正式成立，现配有LP70精密研磨抛光设备、PM6精密研磨抛光设备、WBS粘片机等，可承接样品粘片研磨抛光实验、用户理论及操作培训、研磨盘修整、夹具修复及维护等多种业务。欢迎广大新老用户莅临指导。

    2019-09-29

  • 光电领域晶圆的研磨抛光
    Logitech公司拥有超过50年的高精密设备设计和制造经验。Logitech精密研磨抛光系统在晶圆表面处理、晶圆减薄（背减）和形状控制方面提供大量的技术解决方案，尤其在光电材料加工方面备受推崇。选择Logitech，我们的专家团队将与您一...

    2018-09-03

  • 晶圆背减薄地质领域应用
    通常，标准的晶圆薄片生产可以分为以下步骤：1、现场规范的刨削和修整；2、对多孔或易碎的材料进行浸渍软化处理（可选）；3、初步研磨切割材料；4、制备均匀厚度的载玻片；5、将样本粘合到制备的载玻片上；6、稀释粘合的样本；7、将样品研磨至选定的厚...

    2018-08-02

  • 晶圆抛光百科
    Logitech公司50多年来一直专注于高精密设备的设计和制造，具有丰富的复杂材料加工处理经验。Logitech精密研磨抛光系统在半导体晶圆表面处理、晶圆减薄（背减）和形状控制方面提供大量的技术解决方案。选择Logitech，我们的专家团队...

    2018-07-12

  • 磷化铟晶圆的研磨抛光
    磷化铟（InP）是由铟（In）和磷（P）组成的二元半导体，属于一组通常称为III-V半导体的材料。与硅和砷化镓等更常见的半导体相比，磷化铟具有*的电子速度，常用于制造高功率和高频率电子器件。磷化铟晶圆加工磷化铟具有与砷化镓GaAs和大多数I...

    2018-06-19

  • 蓝宝石晶圆的研磨抛光
    蓝宝石晶圆研磨抛光技术在现代半导体和光电子行业中扮演着重要的角色。蓝宝石晶圆作为一种优质的衬底材料，广泛应用于LED、激光器、光电传感器等高科技领域。而蓝宝石晶圆的研磨抛光工艺则是制备高质量蓝宝石衬底的关键步骤之一。研磨抛光是通过机械摩擦和...

    2018-06-06

  • 砷化镓晶圆的研磨抛光
    砷化镓（galliumarsenide），化学式GaAs。黑灰色固体，熔点1238℃。它在600℃以下，能在空气中稳定存在，并且不被非氧化性的酸侵蚀。砷化镓是一种重要的半导体材料，属Ⅲ－Ⅴ族化合物半导体。砷化镓晶圆的用途各不相同，主要用于一...

    2018-05-30

  • EMA新品介绍-预填充反应管-还原管
    SerConANCASL/GSL/Integra同位素质谱仪预填充反应管-还原管使用我们预填充管可以为您节省时间和金钱：1、直接更换，减少仪器停机时间2、无需测量或处理化学试剂，避免遗撒浪费，避免直接接触化学试剂3、高质量试剂，标准化制备，...

    2018-04-23

  • PM6 专攻高标准4” InP 晶圆
    PM6型精密研磨抛光系统是英国Logitech公司推向市场，应用于众多半导体领域的自动型研磨抛光系统。PM6投入市场后被很多专业用户普遍应用，受到广泛赞誉，其中不乏从事有线电视宽带（CATV）、光纤到户（FTH）及互联网数据等光纤产品及服务...

    2018-02-26

  • 见证客户成功
    Logitech一直与世界*大学合作，始终致力于在不同的应用领域提供高精度的系统解决方案。我们需要的是高质量的、强健的系统，这些系统能够提供*的结果，并使zui大化。了解我们的客户的研究和发现:下载我们的客户案例，通过对系统和工艺过程的研究...

    2017-12-14

共 38 条记录，当前 3 / 4 页  首页  上一页  下一页  末页  跳转到第页 

  • 电话：TEL

    010-82630761

  • 邮箱：EMAIL

    kang_logitechchina@163.com

  • 传真：FAX

    010-82630779

版权所有 © 2026 北京华沛智同科技发展有限公司 All Rights Reserved     备案号：京ICP备11011015号-2

技术支持：化工仪器网     管理登录     sitemap.xml

TEL：010-82630761

扫码添加微信