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  • WSB300粘片机
    Logitech WSB300 晶圆基板键合设备专为提供稳定一致的晶圆良率而设计,在性能上毫不妥协。该设备为单工位系统,具备高度自动化功能,集成了真空、压力以及树脂键合能力。操作人员可以在后续加工前,将单片晶圆安装并键合到玻璃基板上。 系统能够在大尺寸晶圆范围内,实现晶圆与玻璃支撑盘之间的高度平行性。通过触摸屏面板,可精确控制所有工艺参数,包括可编程的键合温度和真空度
    01

    更新日期

    2026-04-16
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    浏览量

    51
  • WSB自动粘片机
    The Logitech WSB unit offer premium bonding for the processing of fragile semiconductor wafers such as Silicon and Gallium Arsenide.
    01

    更新日期

    2026-03-31
    02

    浏览量

    8811
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