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高精度抛光系统是半导体晶圆、光学镜片、蓝宝石衬底、硬盘基板及精密模具制造中实现纳米级表面粗糙度与亚微米面形精度的关键装备,广泛应用于集成电路、激光器、航空航天及消费电子领域。高精度抛光系统性能源于多模块的精密协同,每一部件均体现“超稳运动、智能控制、洁净环境、柔性工艺”的制造理念。一、主轴与抛光头系统空气静压电主轴:转速0–3000rpm无级可调,径向跳动≤0.1μm,无机械摩擦,避免振动;多自由...
查看更多2018-07-12
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