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DL81/82高精度研磨抛光机，最大可兼容12英寸及以下样品。研磨/抛光一体机的设计，可用于工艺研发和小批量生产中。 DL 系列是 Logitech 具有创新性的加工解决方案，是其最新高度自动化的智能样品制备系统。该系统提供对 Logitech 智能气动夹具的动态负载控制，能够在广泛的半导体应用中实现快速、可靠且高度精确的结果。
