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精密研磨抛光系统
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- 更新时间：2025-09-10
DL81/82高精度研磨抛光机，最大可兼容12英寸及以下样品。研磨/抛光一体机的设计，可用于工艺研发和小批量生产中。DL 系列是 Logitech 具有创新性的加工解决方案，是其最新高度自动化的智能样品制备系统。该系统提供对 Logitech 智能气动夹具的动态负载控制，能够在广泛的半导体应用中实现快速、可靠且高度精确的结果。
DL 系列是 Logitech 具有创新性的加工解决方案，是其最新高度自动化的智能样品制备系统。该系统提供对 Logitech 智能气动夹具的动态负载控制，能够在广泛的半导体应用中实现快速、可靠且高度精确的结果。
*的自动化显著减少了设置和清理时间，而集成的软件则提供了一个用户友好的平台，具有精确、可控的加工功能。Logitech 的智能气动夹具利用气压对夹头施加高达 40 千克的下压力，并能达到高达 100 转/分钟的旋转速度，确保在整个过程中实现优良的样品加载效果。这些特性能够满足即便是最为苛刻的应用程序的需求。
有两种配置可供选择：DL81 型，配备单个工作站；DL82 型，配备两个工作站。独立系统，配备直径为 600/700 毫米的板子。可同时运行最多两个精密气动夹具，以处理大型单个样本或多个较小样本。夹具固定样本的最大尺寸可达 8 英寸/200 毫米，或自由研磨样本的最大尺寸可达 12 英寸/300 毫米。
电动研磨夹具，能够实现高几何精度和在整个过程中保持样本的稳定旋转，从而获得出色的且可重复的晶圆均匀性。
精密气动夹具具有集成的卡盘下压力校准系统和自动夹具提升臂，可将夹具安装在和从板子上升起，并将其翻转以使卡盘面朝上，以便操作人员进行样本处理。该夹具可以编程为在达到目标去除量时自动升起——从而实现自动化操作并防止过度加工。材料去除率（MRR）可以被监测和控制到微米级别的精度。原位板厚度监测器将评估并控制板的状态。处理中。国际认可的 EtherCAT 协议被用于实现与主要驱动单元的通信，以确定对机器监控和诊断有用的参数，同时一个工业交通灯塔会提供机器状态警报。最多可容纳四个气缸，用于多阶段加工。增加的容量为 3.8 升的气缸意味着更长、不间断的加工过程，可用于研磨和抛光浆液。通过蠕动泵计量的磨料供给单元，允许操作人员设置每分钟 5 至 100 毫升的流量。这极大地提高了结果的质量和准确性，同时减少了浪费和运营成本。该系统是封闭且密封，带有排气口（直径 150 毫米），允许安装提取连接以处理诸如镓砷化物（GaAs）或铟磷化物（InP）等危险材料。配备有维修吊车，以便安全、轻松地搬运研磨和抛光板。它可以从地面提升到工作区域，最大提升重量可达 200 千克，伸展距离为 380 毫米。通过系统的图形用户界面（GUI）对过程参数进行实时分析和控制，包括磨料供给。15 英寸显示屏及触摸屏用户界面。该模式允许操作人员创建、保存和调用多阶段工艺配方，确保每个工艺过程都能重复，即使在不同的操作人员操作下也是如此。该集成的 Logiwaste 系统能够高效地处理泥浆废料。重沉淀池与滴水盘密封连接，以防止气体逸出，其连接方式便于拆卸和移除以便进行处理。重沉淀池与中间沉淀池和液体储罐相连。
