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飞行时间二次离子质谱仪的功能介绍
更新时间:2017-03-02   点击次数:2219次
    一次离子可能受到样品表面的背散射,也有部分进入样品表面,这部分离子把能量传递给晶格,当入射能量大于晶格对原子的束缚能是,部分原子脱离晶格向表面运动,并且产生原子间的级联碰撞,当这一能量传递到表面,并且大于表面的束缚能时,飞行时间二次离子质谱仪促使表面原子脱离样品,在高速旋转的加工头与被加工工件表面之间加上含有微细磨粒的研磨液,并产生一定的压力。通过高速旋转的加工头所产生的高速气流及离心力,使磨粒冲击或擦过工件表面,产生弹性破坏物质的原子结合,从而往除工件表面的材料。它可使材料内部不产生错位和缺陷,从而实现原子级加工。并可获得非常优良的表面。
 
    利用飞行时间二次离子质谱仪影像可以观察试片表面所含有之元素,由适当的纵面元素之分析,可以了解污染之深度。经扩散及离子,结合离子布植技术在IC或其他半导元件之应用。基本上按照其在自然界的丰度比出现在质谱中,这对于利用质谱确定化合物及碎片的元素组成有很大方便, 还可利用稳定同位素合成标记化合物,氘等标记化合物,再用质谱法检出这些化合物,在质谱图外貌上无变化,只是质量数的位移,从而说明化合物结构,反应历程等。可以在线获得样品中更多的信息,保留了微区分析的特点,没有基体效应。其特点有:分隔的真空腔体有利于溅射中性粒子的收集和离子化;中性粒子的离子化可以使用电子轰击,热电离,激光共振等成熟的离子化技术,质量分析器可以使用小型的四极杆或者飞行时间质量分析器,基于电场的独立小型质量分析器有利于减小器体积和缩短分析时间。

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