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Akribis-Air智能研磨抛光机

  • 浏览次数:5016
  • 更新时间:2018-10-10
产品简介:

Akribis-Air智能研磨抛光机,具有高度自动化的独立系统,提供了工艺创新,在短时间内可实现Z高水平的处理。完整的Akribis-air研磨抛光系统具有智能自动化的功能,如盘面平整度控制、夹具自动设置、动态负荷控制、增加控制参数、实时数据收集和反馈、计量磨料供应、自动清洗功能等。

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    Akribis-air智能研磨抛光机,具有高度自动化的独立系统,提供了工艺创新,在短时间内可实现zui高水平的处理。

Akribis-Air智能研磨抛光机功能:

  • 盘面平整度控制
  • 夹具自动设置
  • 动态负荷控制
  • 增加控制参数
  • 实时数据收集和反馈
  • 计量磨料供应
  • 自动清洗功能

    单工作站系统配有400mm的盘,速度为100rpm。当使用LOFITECH的动态负载控制的新智能夹具系统,在广泛的应用程序中提供快速、可靠和高度准确的结果。LOFITECH的空气驱动智能夹具可用于100毫米和150毫米晶圆处理。

Akribis-air智能研磨抛光机典型应用:

  • 硅集成电路、太阳能和波导
  • III-V族化合物稀释和抛光
  • 蓝宝石和发光二极管
  • 碳化硅光学,发光二极管和电力电子
  • 氮化镓-光学仪器、激光、射频高频

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