中山大学CMP Tribo和PM6设备安装调试顺利完成

更新时间：2018-02-02

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中山大学电子与信息工程学院光电材料与技术国家重点实验室，为满足专业人才培养需要，2016年底，利用国家专项教学资金购置光电国家重点实验室化学机械平坦化机和研磨抛光机各一套。设备均为目前精密研磨抛光设备领域的英国Logitech公司生产，均为*。

2018年01月13日-17日，Logitech工程师Tom，应学院老师要求，前往中山大学电子与信息工程学院对CMP Tribo和PM6设备进行现场的设备安装培训及维护指导。

相信设备正常投入教学后，必将为中山大学电子与信息工程学院培养大量专业人才，也为与Logitech长期合作做出重要贡献。