PM6 专攻高标准4” InP 晶圆
更新时间：2018-02-26 点击次数：2968次
PM6型精密研磨抛光系统是英国Logitech公司推向市场，应用于众多半导体领域的自动型
研磨抛光系统。PM6投入市场后被很多专业用户普遍应用，受到广泛赞誉，其中不乏从事有线电视宽带（CATV）、光纤到户（FTH）及互联网数据等光纤产品及服务的供应商。
近年，随着网络进一步普及宽带市场持续增长，对核心光纤生产技术提出更高要求。晶圆加工处理技术作为光纤产品线的重要生产工艺，不仅需要在提高生产能力上不断突破，更要在产品质量上达到非常高的技术标准。这对生产用户在技术指标、产能等方面提出了非常严苛的要求。Logitech公司推出新一代PM6型精密研磨抛光系统，为广大光纤生产商提供的产品技术解决方案。
PM6型精密研磨抛光系统为单个工作头的台式机型，加工后样品可实现高度一致性，同时也能达到高标准的表面光洁度。自动化的晶圆处理方式，严格控制样品加工处理结果，为达到高质量要求的大批量生产带来便利。已有生产商采用PM6型精密研磨抛光系统批量加工4” InP晶圆，样品面型TTV＜2μm，加工过程和zui终结果均严格可控。
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