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金刚石,工程师的朋友
更新时间:2016-10-28   点击次数:1997次

 

      金刚石是一种纯碳物质,也是钻石的原石

     近年来,随着开发技术难题的攻克,具有晶莹质感的钻石不仅仅是女孩们的zui爱,也成为工程师的朋友。由于金刚石的性能,金刚石纳米薄膜已经在MEMS、表面声波(SAW)器件、热量管理及摩擦涂层等方面得到广泛应用。

     金刚石生长从应用技术上讲需要将纳米薄膜置于硅晶片上生长。这个技术挑战的关键,是金刚石外延生长不能直接在晶片上进行,需要在生长前先将金刚石纳米颗粒种植于晶片上。竞争性的生长过程中,往往导致表面变粗糙,不利于金刚石生长的关键应用。

     为了克服表面粗糙的难题,来自卡迪夫大学、英国帝国学院和牛津大学的研究学者们组建的开发团队,共同开发出一套全新工艺,显著地降低了薄膜表面粗糙的问题。

     研发人员使用Logitech Tribo台式化学机械抛光设备,开发出了一套使用聚氨酯/聚酯抛光布和碱性硅胶抛光液的新方法,*解决了薄膜表面粗糙的问题。使用原子力显微镜(AFM)、扫描电子显微镜(SEM)和X射线光电子能谱对实验结果进行检测,结果显示通过此方法,25μm²范围内,晶片表面粗糙度从18.3nm降低至1.7nm。

     欲了解更多相关研究,。

 

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